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?? ? ?相較于不久前各國(guó)際品牌在CES上推出各種爭(zhēng)奇斗艷的新產(chǎn)品,參與日本電子展NEPCON的公司,則多關(guān)注于技術(shù)面的交流跟革新,這兩種截然不同的展會(huì)風(fēng)格正好反映在Micro LED技術(shù)的演示上。
?? ? ?雖然在今年的NEPCON Japan上,較少看到廠商主打Micro LED或Mini LED技術(shù)及產(chǎn)品,但LEDinside仍觀察到幾家日本的設(shè)備公司介紹自家的巨量轉(zhuǎn)移及檢測(cè)技術(shù),針對(duì)已在商轉(zhuǎn)門(mén)口就定位的Micro LED顯示技術(shù),提供量產(chǎn)方案。
?? ? ?日本信越展出Micro LED的轉(zhuǎn)移方案,先將晶圓片放上信越開(kāi)發(fā)的暫存基板,并利用雷射剝離製程Laser Lift-off將Micro LED晶片打到暫存基板上,移除藍(lán)寶石基板,后續(xù)再透過(guò)清洗,去除晶片上的鎵Ga,接著以信越的轉(zhuǎn)印方案將Micro LED晶片轉(zhuǎn)移到顯示器背板上。該方案適用于覆晶技術(shù)flip-chip,最新一代的轉(zhuǎn)印可處理4吋晶圓。
?? ? ?之前推出Micro LED轉(zhuǎn)移以及檢測(cè)修復(fù)方案的Toray今年也沒(méi)缺席。透過(guò)攝影檢查L(zhǎng)ED晶片上的缺陷,并用雷射打掉不合格的晶片,再以其設(shè)備精準(zhǔn)定位RGBLED進(jìn)行轉(zhuǎn)移,最后再次檢驗(yàn)并補(bǔ)齊缺陷,提升良率。
?? ? ?TDK本次也低調(diào)在攤位展出Micro LED製程解決方案的說(shuō)明海報(bào)。針對(duì)Micro LED的壞點(diǎn)移除、巨量轉(zhuǎn)移、晶片檢測(cè)修復(fù)以及背板接合都有應(yīng)對(duì)的技術(shù)設(shè)備。可以大量轉(zhuǎn)移最小到10μm的Micro LED晶片,精準(zhǔn)度則來(lái)到±1.9μm以下。據(jù)TDK表示,其解決方案已獲知名中國(guó)及韓國(guó)廠商採(cǎi)用。
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